コンベアー式雰囲気炉
HICの回路焼成及び電子部品の導体 及び抵抗体の焼付、低温セラミック基 板及びコンデンサーの焼成、高純度N2 ガス雰囲気ガラスシールまたH2ガス雰 囲気中の還元処理及びロー付処理と 多目的に使用できます。
| 形式 Type |
ベルト幅 Belt width |
標準ベルト速度 Normal belt speed |
制御回路数 Numbers of control circuits |
設備電力 Power capacity |
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|---|---|---|---|---|---|
| 低温帯 Low temp. area |
高温帯 High temp. area |
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| SEMT-20 | 200m /m | 100mm/min | 4回路 | 5回路 | 45kW |
| SEMT-30 | 300m /m | 100mm/min | 4回路 | 5回路 | 54kW |
| SEMT-40 | 450m /m | 100mm/min | 4回路 | 5回路 | 63kW |
- ベルトスピード（30～300mm/min）及び 各回路（PID制御）の温度設定（1,150℃以下） に依り任意の精密な温度曲線が可能です。
- インコネル材の炉芯管及びベルトの採用、 出入り口ガスカーテン機構、ベルトの洗浄器の 効果に依り、高純度炉内雰囲気コントロールが 可能です。